X射线荧光分析是确定物质中微量元素类型和含量的方法。 这也称为X射线二次发射光谱分析。 它使用初级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子。 生成用于材料成分分析和化学状态研究的次级特征X射线（X射线荧光）。 现代仪器由以下部分组成：X射线发生器（X射线管，高压电源和稳定的电流稳定装置），光谱检测系统（分析晶体，准直仪和检测器），计数记录系统（脉冲辐射分析仪），校准仪，计时器，积分器，记录仪。 不同的元素具有不同波长的特征X射线光谱，并且各谱线的荧光强度与元素浓度具有一定的关系。 可以定性和定量地分析待测元素的特征X射线谱线的波长和强度。 该方法具有谱线简单，分析速度快，多个测量元素以及同时进行多元素分析的优点。 它是广泛用于大气颗粒物元素分析的三种主要分析方法之一（其他两种方法是中子活化分析和质子荧光分析）。

　　荧光，顾名思义，是在光下发出的光。  X射线荧光是被分析的样品在X射线照射下发出的X射线。 它包含有关所分析样品化学成分的信息。 通过分析X射线荧光来确定被测样品中各成分含量的仪器是X射线。 荧光分析仪。 从原子物理学的知识中，我们知道化学元素的每个原子都有其自己的特定能级结构。 原子核外的电子都以自己的独特能量在自己的固定轨道上运行。 内部电子在足够能量的X射线照射下，原子从束缚中释放出来，成为自由电子。 

　　我们说原子是受激的并且处于受激状态。 这时，其他外部电子将填补这个空位，即所谓的跃迁。  X射线会发出能量。 由于每个元素的码级结构是特定的，因此在跃迁后被激发时发出的X射线的能量也特定，这称为特征X射线。 通过测量特征X射线的能量，晶体分析管可以确定相应元素的存在，特征X射线的强度（或X射线光子数）表示元素的含量。 量子力学知识告诉我们，X射线具有波粒对偶性，可以被视为粒子和电磁波。 当视为粒子时的能量与当视为电磁波时的波长之间存在一一对应的关系。显然，无论是测量能量还是波长，都可以实现对相应元素的分析，效果是完全一样的。

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