荧光分析X射线是确定物质中微量元素的种类和含量的一种方法。它用荧光分析X射线管辐射激发待分析样品中的原子，使原子发出标识X射线（荧光），通过测量这些标识X射线的能量和强度来确定物质中微量元素的种类和含量。根据激发源的不同，可分成带电粒子激发X荧光分析，电磁辐射激发X荧光分析和电子激发X荧光分析。 

　　在波长色散X射线光谱仪中，由于使用分光晶体，是的待测元素的分析谱线可以较好分离，故通过使用分辨率较低的流气式正比计数器和NaI闪烁技术器作为X射线探测器。分光晶体与低分辨率探测器的结合应用，使得波长色散X射线光谱仪的整体分辨率要优于使用常规半导体Si探测器的能量色散X射线光谱仪。

　　由于同步辐射具有强度高、准直好、偏振性、波长连续可调等优点，使得同步辐射X射线荧光分析比常规X射线荧光分析，具有更高的灵敏度和更小的微区分析能力，可以解决一些常规X光源不能解决的科研和实际应用问题。可以进行各种材料的微区、微量元素的无损成分分析，谱的信噪比与改造前的白光谱相比提高了近两个数量级。在微束荧光分析方面，已可以达到空间分辨10~50mm，可以开展例如单个流体地质包裹体的无损成分分析，单个生物细胞的无损成分分析，以及其它领域各种细微材料的无损成分分析。利用双晶单色器和超环面镜组合系统的单色光掠入射到样品的全反射方法。此外，近期拟对用户开放过渡金属的共振非弹性X射线散射实验。

　　暗电流是指在有光射在光阳极上时光电倍增管的输出电流。暗电流的产生是由光阴极表面的热电子发射及电极之间的所加电压而产生的漏电流。因此，降低温度及降压都能降低暗电流。光电倍增管的暗电流越小，质量越好。