X射线荧光分析显微镜仪器，成功建造了世界上X射线管，可产生细微的X射线束以分析显微样品。 X射线束由微观（测量）聚焦的X射线管产生，该X射线管穿过X射线管形成细的X射线束，将样品照射在 在XY扫描阶段，并产生X荧光，这是由硅X射线探针检测产生的。 同时，闪烁体探针会检测到穿过样品的透射X射线。 

然后，将通过X射线荧光测量的样品的表面组成和通过透射X射线获得的样品的内部结构与XY扫描信号重复使用。 成功构造了世界上的X射线管，以产生精细的X射线束来分析微观样品。X射线束由微观聚焦的X射线管产生，该X射线管穿过X射线管形成细的X射线束，将样品照射在 在XY扫描阶段，并产生X荧光，这是由硅X射线探针检测产生的。 

同时，闪烁体探针会检测到穿过样品的透射X射线。 然后重新使用XY扫描信号来形成通过X荧光测量的样品表面成分和通过透射X射线获得的样品内部结构的各自映射图像。此外，X射线管可以轻松地在10μm点直径和100μm点直径之间切换，以获得佳的样品测量模式。X射线荧光光谱仪的特性X射线荧光光谱仪的特点是波长非常短，频率很高，因此，X射线必定是由原子之间两个具有非常不同能级的能级之间的过渡引起的。 

因此，当原子中的原子依赖于内部电子跃迁时发射X射线光谱，而当外部电子跃迁时发射光谱。X射线不会在电场磁场中发生偏转。 这表明X射线是不带电粒子的流动，因此会发生干涉和衍射现象。X射线荧光光谱仪的X射线光谱由连续光谱和识别光谱组成。识别光谱叠加在连续光谱的背景上。连续光谱是由靶子阻挡的高速电子产生的致辐射。

X射线荧光光谱仪的X射线具有很高的穿透能力，并且可以透射许多对可见光不透明的材料，例如墨水纸和木材。这种不可见射线可以使许多固体材料产生可见荧光，使胶卷具有光敏性和空气电离等作用。波长越短，称为硬X射线的X射线能量越大，而越长的波长X射线能量越低，称为软X射线。当电子在真空中高速移动时，轰击金属目标时，目标会发出X射线。 这就是X射线管的结构原理。

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